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加熱后的氣體被導向真空壓力表，真空壓力表就會產(chǎn)生溫升。熱真空試驗箱如果溫升超過了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。一般的熱真空試驗箱均設有溫度均勻度參數(shù)：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟獨電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數(shù)，這是為什么？真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。...

在所有的清洗方式中，進口晶圓清洗機是效率zui高、效果的一種，之所以超聲波清洗能夠達到如此的效果，是與它*的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的。我們知道，在生產(chǎn)和生活當中，需要清潔的東西很多，進口晶圓清洗機需要清洗的種類和環(huán)節(jié)也很多，如：物件的清除污染物，疏通細小孔洞，常見的手工清洗方法對異型物件以及物件隱蔽處無疑無法達到要求，即使是蒸汽清洗和高壓水射流清洗也無法滿足對清潔度較高的需求，超聲波清洗對物件還能達到殺滅細菌、溶解有機污染物、防止過腐蝕等，因此，進口晶圓清洗機被日益廣泛應...

在眾多半導體工藝中，刻蝕是決定特征尺寸的核心工藝技術(shù)之一。刻蝕分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕采用化學腐蝕進行，是傳統(tǒng)的刻蝕工藝。它具有各向同性的缺點，即在刻蝕過程中不但有所需要的縱向刻蝕，也有不需要的橫向刻蝕，因而精度差，線寬一般在3um以上。RIE-PE刻蝕機是因大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要而開發(fā)的精細加工技術(shù)，它具有各向異性特點，在zui大限度上保證了縱向刻蝕，還可以控制橫向刻蝕。介紹的RIE-PE刻蝕機就是屬于干法ICP刻蝕系統(tǒng)。RIE-PE刻蝕機為了適應工藝發(fā)展需求，各...

微波等離子清洗機也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。微波等離子清洗機對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔等目的。等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)...

繼NANO-MASTER*技術(shù)的帶淋浴頭氣流分布的平面ICP離子源應用于NANO-MASTER的刻蝕系統(tǒng)，ICPECVD沉積系統(tǒng)，PA-MOCVD生長系統(tǒng)之后，該ICP離子源順利應用于ALD系統(tǒng)。由于該型技術(shù)設計的ICP源為平面設計的遠程等離子源，可以在更低電源下達到更高的離子密度，具有電子溫度低、離子密度高、腔體空間占比低等優(yōu)勢，確保了該ALD系統(tǒng)具有薄膜無損傷、生長速度快、脈沖周期短（沉積效率可以達到兩倍以上）的先進性能。此外，可以實現(xiàn)低溫（100度以內(nèi)）的薄膜生長。

微波等離子清洗機技術(shù)在橡塑行業(yè)的應用已非常成熟，其相關(guān)產(chǎn)值逐年增加，國外市場比國內(nèi)市場產(chǎn)值高，但國內(nèi)可發(fā)展空間大，應用前景誘人。經(jīng)濟的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費品的質(zhì)量要求也越來越高，微波等離子清洗機技術(shù)隨之逐步進入生活消費品生產(chǎn)行業(yè)中；另外，科技的不斷發(fā)展，各種技術(shù)問題的不斷提出，新材料的不斷涌現(xiàn)，越來越多的科研機構(gòu)已認識到等離子技術(shù)的重要性，并投入大量資金進行技術(shù)攻關(guān)，微波等離子清洗機技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應用范圍會越來越廣；技術(shù)的成熟...

微波等離子清洗機優(yōu)勢：一、清洗對象經(jīng)微波等離子清洗機之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢蕴岣哒麄€工藝流水線的處理效率。二、微波等離子清洗機使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性。四、微波等離子清洗機采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體...

RIE-PE刻蝕機其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。RIE-PE刻蝕機是在濕法腐蝕技術(shù)基礎上發(fā)展起來的，屬于純化學性腐蝕。這種方法腐蝕均勻性好、損傷小，缺點是各向刻蝕同性，對于1μm以下的細線條線寬損失明顯。所以，在等離子刻蝕的基礎上改進反應結(jié)構(gòu)和接電方式，出現(xiàn)了反應離子刻蝕。該方法加快了縱向的腐蝕速度，具有各向異性的腐蝕...